410.
О.и. 289302 SU, G 01 j 5/06
Устройство для измерения температуры вертикального пъедестала в установках эпитаксиального наращивания: описание изобретения / А.А. Басовский, И.К. Бронштейн, В.Ю. Жвирблянский, А.Я. Збарский, Д.Д. Матвеев, Б.И. Синчук, И.Л. Шендерович, В.С. Шульга, Ю.В. Юшков, И.Н. Воронов, Х.И. Макеев, Ю.И. Ульянов; Государственный научно - исследовательский и проектный институт редкометаллической промышленности. - Заявл. 18.04.1969; Опубл. 08.12.1970; Бюл. № 1 - 2 с.; 210 × 297 мм.